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高純氬氣雜質分析檢測方案_ERUN-PG51AR在線式氬氣純度分析儀

時間：2026-02-27 來源：氣體檢測報警儀作者：贏潤

在半導體、光伏、電子制造、激光焊接、空分、科研實驗室等行業(yè)，高純氬氣的純度直接決定產(chǎn)品良率與工藝安全。氬氣中微量O?、N?、H?、CO、CO?、THC、H?O等雜質，會造成氧化、缺陷、焊點不良、設備損壞等問題。
本文提供一套符合GB/T 4842-2017的高純氬氣雜質分析檢測方案，覆蓋離線實驗室檢測與24小時在線連續(xù)監(jiān)測，并推薦適合工業(yè)現(xiàn)場長期穩(wěn)定運行的ERUN-PG51AR固定在線式氬氣檢測分析儀。
二、適用標準與檢測指標

執(zhí)行標準：GB/T 4842-2017《氬》、GB/T 28726、SEMI電子級標準

檢測純度：5N(99.999%)、6N(99.9999%)

典型控制指標：

氧O? ≤1ppm

氮N? ≤1ppm

氫H? ≤0.1ppm

一氧化碳CO ≤0.1ppm

二氧化碳CO? ≤0.1ppm

總烴THC ≤0.1ppm

水分H?O ≤0.5ppm

三、高純氬氣雜質分析檢測方法

氣相色譜法（GC-PDHID/TCD）

高精度檢測ppb級微量雜質，適用于實驗室精準分析。

熱導法（TCD）

響應快、穩(wěn)定性強，適合在線式氬氣純度分析。

微量氧/微量水分析儀

專項檢測氧與水分，滿足高純氣質控要求。

固定在線式系統(tǒng)

管道/儲罐/空分裝置實時監(jiān)測，無需人工值守。
四、檢測流程（標準可落地）

取樣：使用不銹鋼拋光管路、專用減壓器，防止污染

預處理：吹掃、穩(wěn)壓、除濕、除油

進樣分析：離線色譜/在線設備連續(xù)檢測

數(shù)據(jù)記錄：實時濃度、曲線、報警記錄

報告輸出：純度、雜質含量、合格判定

五、在線監(jiān)測推薦：ERUN-PG51AR固定在線式氬氣檢測分析儀

針對高純氬氣現(xiàn)場連續(xù)監(jiān)測需求，推薦使用ERUN-PG51AR固定在線式氬氣檢測分析儀。該設備專為空分、氣體廠、半導體、焊接車間設計，實現(xiàn)24小時不間斷氬氣純度與雜質在線監(jiān)測。
產(chǎn)品核心優(yōu)勢

采用進口高精度TCD熱導傳感器，穩(wěn)定性強、壽命長

測量范圍：0~100%Vol，支持高純氬氣精準分析

支持管道式/壁掛式/流通式安裝，適配現(xiàn)場工況

4-20mA+RS485標準輸出，可接入DCS/PLC/上位機

兩級聲光報警，超標自動提醒，保障生產(chǎn)安全

紅外遙控校準，不開蓋操作，更安全便捷

防爆結構設計，適用于工業(yè)危險場所

適用場景

空分設備氬氣精餾單元在線監(jiān)測

氣體充裝廠高純氬氣出廠質控

半導體/光伏車間氬氣管道實時監(jiān)測

激光焊、不銹鋼焊氬氣純度保障

實驗室/科研院所高純氣在線分析

六、方案價值

精準把控高純氬氣雜質含量，提升產(chǎn)品良率

實現(xiàn)24小時在線監(jiān)測，減少人工巡檢成本

超標提前預警，避免工藝事故與原料浪費

數(shù)據(jù)可追溯，滿足審核、驗廠、客戶要求

七、總結

高純氬氣雜質分析檢測是高端制造必備質控環(huán)節(jié)。離線色譜保證精準度，ERUN-PG51AR固定在線式氬氣檢測分析儀保障現(xiàn)場連續(xù)性與穩(wěn)定性，二者結合可構建完整的高純氬氣質量管控體系。
如需定制高純氬氣檢測方案、設備選型、參數(shù)配置，歡迎咨詢18166600151。

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